רכיבי ואקום

טיפול בחום כולל בעיקר תהליכי חמצון, דיפוזיה וחישול.חמצון הוא תהליך תוסף שבו מניחים פרוסות סיליקון בתנור בטמפרטורה גבוהה ומוסיפים חמצן כדי להגיב איתם ליצירת סיליקה על פני השטח של הפרוסה.דיפוזיה נועדה להעביר חומרים מאזור הריכוז הגבוה לאזור הריכוז הנמוך באמצעות תנועה תרמית מולקולרית, וניתן להשתמש בתהליך הדיפוזיה כדי לסמם חומרי סימום ספציפיים במצע הסיליקון, ובכך לשנות את המוליכות של מוליכים למחצה.